拋光墊
拋光墊也叫做拋光皮、拋光布、拋光片,指的是化學機械拋光中決定表面質量的重要輔料。拋光墊有多種分類,根據是否含有磨料,拋光墊可分為有磨料拋光墊和無磨料拋光墊;根據材質不同,拋光墊可分為聚氨酯拋光墊、無紡布拋光墊和復合型拋光墊;根據表面結構不同,拋光墊大致可分為平面型、網格型和螺旋線型。
拋光墊的相關文章
-
X技術>中國專利技術>金屬材料;冶金;鑄造;磨削;拋光設備的制造及處理,應用技術 聚氨酯拋光墊的制備方法 【專利摘要】本發明涉及具有良好透水性、硬度及耐磨性能的聚氨酯拋光墊的制備方法以及由該方...
-
X技術>中國專利技術>金屬材料;冶金;鑄造;磨削;拋光設備的制造及處理,應用技術 專利名稱聚氨酯拋光墊的制作方法 背景本說明書涉及可用來對基材有效地進行拋光和平整化的拋光墊,具體涉及具有均勻的...
-
X技術>中國專利技術>金屬材料;冶金;鑄造;磨削;拋光設備的制造及處理,應用技術 專利名稱拋光墊的制作方法 技術領域本發明涉及用于玻璃、半導體、介電/金屬復合材料及集成電路等物件上以產生一平滑...
-
X技術>中國專利技術>電氣元件制品的制造及其應用技術 專利名稱半導體基材的拋光墊的制作方法 背景技術發明領域本發明涉及用于半導體基材、晶片、冶金樣品、存儲磁盤表面、光學元件、透鏡、晶片模板等的...
-
X技術>中國專利技術>金屬材料;冶金;鑄造;磨削;拋光設備的制造及處理,應用技術 化學機械拋光墊的制作方法 【專利摘要】本發明提供了一種化學機械拋光墊,其包括:拋光層;剛性層;以及將拋光層與剛...